传统的探针测量方法只能获取到被测件少量的点数据，效率低，无法满足现代工业数字化的测量需求。而基于白光干涉技术的白光干涉仪可以进行非接触式扫描并建立表面3D图像的测量过程，通过系统软件分析器件表面3D图像并进行数据处理与分析，实现了器件表面形貌3D测量的效率高与简化性，提高了测量效率，且降低了系统的复杂性。

中图仪器的SuperView W1白光干涉仪检测设备以白光干涉技术为原理，结合3D 建模算法、精密Z向扫描模块等对器件表面进行非接触式扫描，同时通过系统软件建立表面3D图像，之后进行数据处理与分析，获取参数，实现器件表面形貌3D测量。

产品功能

1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；

2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；

3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；

4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；

5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；

6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具备word、excel等数据报表导出功能。

SuperView W1白光干涉仪检测设备分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

注意事项

1、现场开箱后，核对设备型号、配件规格与数量；确认外观无划伤或掉漆；确认各部件有无损坏或异常。
2、使用中图仪器专用玻璃标准器进行设备的校准，确认仪器符合技术协会的要求。
3、验收标准参照现行国家（或行业）标准以及本技术协议为准。
4、验收合格后，供方需和需方签订《产品验收报告》。